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18
2019
-
09
氦氣在元器件檢漏方面的應(yīng)用
在半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件管殼的封接處，及引線接頭處等，會因?yàn)楦鞣N原因?qū)е鲁霈F(xiàn)肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞。在進(jìn)行元器件封裝之后，就需要采取某些方法，來進(jìn)行漏洞的檢測。以下兩點(diǎn)，就是氦氣在檢漏方面的應(yīng)用：
1、采用氦氣檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞，是因?yàn)楹ぴ映叽缧?，容易穿過小洞而進(jìn)入到管殼內(nèi)部，所以這種檢測方法能夠檢測出尺寸很小的小洞（即能夠檢測出漏氣速率約為10?11～10?12cm3/sec的小洞）。
2、使用氦氣進(jìn)行檢漏試驗(yàn)時(shí)，首先將封裝之后的元器件放入充滿氦氣的容器中，之后進(jìn)行加壓，使氦氣通過小洞而進(jìn)入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質(zhì)譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。
使用氦氣進(jìn)行檢漏，其靈敏度可與放射性檢漏方法匹敵，但要比放射性檢漏方法更加簡便。
關(guān)鍵詞：高純氦
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